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本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体是涉及一种纳米真空镀膜设备用工件自动上料机构。包括,机架;定位输送装置,固定安装在机架旁侧;工业机器人,固定安装在机架上;固定夹持装置,固定安装在工业机器人的活动端。本申请可有效的节省人力,同时提高工作效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215481247 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202122142154.2
(22)申请日 2021.09.06
(73)专利权人 浙江依缘纳米科技有限公司
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