一种光阻剥离装置.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种光阻剥离装置.pdf

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本实用新型公开了一种光阻剥离装置，涉及光阻技术领域。本实用新型包括底板，底板的表面设置有废液收集盒，底板的顶部设置有第一夹板，第一夹板的侧面设置有侧板，第一夹板的顶部设置有第二夹板，第一夹板与第二夹板之间设置有电路板，电路板的表面设置有光阻掩膜，第一夹板和第二夹板的内表壁均设置有挤压球，挤压球与电路板相抵，第二夹板的底部设置有滑块，滑块延伸至侧板内，侧板内设置有紧固螺栓，紧固螺栓的顶端与滑块相抵。本实用新型通过设置剥离装置可以将剥离液喷洒在光阻掩膜的表面，并通过剥离板在光阻掩膜的表面上下循环移动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215494546 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122332542.7 (22)申请日 2021.09.26 (73)专利权人丹东安顺微电子有限公司