晶圆输送装置及半导体设备.pdfVIP

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2023-04-05 发布于四川
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晶圆输送装置及半导体设备.pdf

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一种晶圆输送装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。该晶圆输送装置包括马达、导螺杆、连接马达与导螺杆的联轴器，以及螺接于导螺杆上的晶圆承载台，马达用于带动导螺杆转动，以使晶圆承载台做直线运动；晶圆输送装置还包括检测器和控制器，控制器分别与检测器和马达电连接，检测器用于检测联轴器与马达的连接状态以及联轴器与导螺杆的连接状态并发送至控制器，控制器用于在联轴器脱离马达和/或导螺杆时，控制马达停止转动。该半导体设备包括上述的晶圆输送装置。该晶圆输送装置能够检测马达与导螺杆之间的连接可靠性，避免出现马达

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214123853 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202023341443.7 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人泉芯集成电路制造(济南)有限公