气体喷洒部件以及薄膜沉积装置.pdfVIP

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2023-03-16 发布于四川
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气体喷洒部件以及薄膜沉积装置.pdf

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本申请实施例公开了一种气体喷洒部件以及薄膜沉积装置，所述气体喷洒部件中，第一前驱物输入通道与第一腔室的顶部连通，以向第一腔室内输入第一前驱物；第一分流板位于第一腔室的底部，第一分流板上包括多个气体通孔；第二腔室位于第一腔室下方，且与第一腔室之间通过第一分流板分隔；第一分流板上的多个气体通孔供第一前驱物从第一腔室的底部进入第二腔室；第一分流板上至少包括第一区域和第二区域，第一区域为第一前驱物输入通道延伸方向所对应的区域，第二区域围绕第一区域；气体通孔包括位于第一区域内的第一组气体通孔和位于第二区域

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213624369 U (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202021577916.0 (22)申请日 2020.07.31 (73)专利权人长江存储科技有限责任公司