一种检测装置及成膜设备.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种检测装置及成膜设备.pdf

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本实用新型提供一种检测装置及成膜设备，包括两个检测筒、发射器和接收器。两个检测筒间隔且倾斜穿设在沉积腔室的腔体壁上，两个检测筒均一端延伸至沉积腔室的腔体的内部，另一端位于腔体的外部，发射器和接收器分别设置在位于腔体外部的一端，接收器用于接收从发射器出射并经待检测工件反射的检测光线，检测筒上位于腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于检测筒在水平面上的正投影的边缘，当上方的待检测工件破碎坠落时，在重力方向上，碎渣坠落在检测筒的外壁上，并沿外壁滑落到沉积腔室底部，从而避免碎渣垂直掉入检测筒

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213580646 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022634520.1 (22)申请日 2020.11.12 (73)专利权人宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙