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本实用新型公开了一种双对称平行薄膜微恒流阀,包括两个上下分开布置的控制流道、两个左右布置的控制流道、流体主流道、窄流道以及四块两两平行的弹性薄膜。四个控制流道的入口均与流体主流道相连通,控制流道的出口均由弹性薄膜封闭且与窄流道隔开。本实用新型提出的双对称平行薄膜微恒流阀的流量调控原理为利用四块弹性薄膜在控制流道内微流体压力的作用下产生弹性变形,挤压窄流道内的微流体,并改变阀的流阻以实时补偿流体压强的变化,最终实现微流体流量的恒定调控。该阀实现恒定流量调控所需的驱动压强小(
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213541396 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022658797.8 (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人 常州工业职业技术学院
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