一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，包括操作台、真空吸盘、加热机构、喷胶机构和刮胶机构，真空吸盘有多个，用于吸附待涂胶的籽晶，多个真空吸盘成排布置在操作台上；加热机构设置在真空吸盘的下方；喷胶机构安装在操作台上，并可在多个真空吸盘的上方往复移动；刮胶机构包括安装在操作台上的动力机构、移动地安装在操作台上位于真空吸盘上方的安装杆和多个安装在安装杆上的刮刀组件；刮刀组件的角度可调整。本实用新型可减缓粘胶的凝固速度，方便刮涂，从而保证胶厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，提高了合格

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218590995 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222309104.3 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人江苏集芯半导体硅材料研究院有