一种真空加热装置.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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一种真空加热装置.pdf

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本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空加热装置，包括：腔体、加热装置和超低温冷冻管路；所述腔体设置有滚轮，所述滚轮用于运送腔体内的台车以及工件；所述加热装置通过上盖板设置在腔体的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体内的工件；所述超低温冷冻管路通过管路固定架盘绕在腔体的两个内侧面；所述超低温冷冻管路与外界冷媒连通；采用本实用新型，运用IR加热灯管对工件表面进行微加热动作，经由轻微的表面热源使工件表面的水气能更快速的脱离工件，逸散到腔体内部空间，进而被真空泵抽除或是被超低温冷冻管路吸附，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570721 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021689238.7 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人柏霆（苏州）光电科技有限公司