清洗机自动调节腔体内部洁净度的系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.5万字
约 12页
2023-03-13 发布于北京
举报
版权申诉

清洗机自动调节腔体内部洁净度的系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种清洗机自动调节腔体内部洁净度的系统，包括清洗机本体，清洗机本体内限定形成腔体，腔体内通过多个隔板间隔隔开形成多个腔室，多个腔室按照清洗工艺顺序依次为上料室、SC1室、去离子水室一、SC2室、去离子水室二、慢提拉室、红外烘干室和出片室，每个腔室的上方安装有风机过滤机组一和风机过滤组二，风机过滤机组一和风机过滤组二的下方分别安装有风速计一和风速计二，每个腔室的一侧下部开设有排气口，排气口通过主排气管与厂务端负压管道连通，主排气管内安装有风速计三和电动风阀一；每个腔室内均安装有空气

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218591299 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222623500.3 (22)申请日 2022.09.30 (73)专利权人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址