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2023-03-13 发布于北京
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本实用新型公开了一种清洗机，包括由隔板相连接的蚀刻槽、过渡槽和水洗槽，蚀刻槽、过渡槽和水洗槽之间贯穿有滚筒输送线；还包括两个风刀组件，两个风刀组件间隔设于过渡槽内，其中一个风刀组件的位置靠近蚀刻槽，另一个风刀组件的位置靠近水洗槽。本实用新型在蚀刻槽和水洗槽之间设有过渡槽，能够增大蚀刻槽和水洗槽的间距，有效防止窜液的现象，而且在过渡槽内设有两个风刀组件，一个风刀组件的位置靠近蚀刻槽，另一个风刀组件的位置靠近水洗槽，通过吹风的方式将晶圆表面残留的液体赶去，进一步防止窜液的现象。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213519876 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022456596.X (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人昆山蕴鼎自动化科技有限公司