玻璃基板传输装置.pdfVIP

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2023-03-13 发布于北京
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玻璃基板传输装置.pdf

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本公开提供一种玻璃基板传输装置，包括：气浮条支架，其上安装有若干个气浮条，若干个气浮条沿第一方向和第二方向矩阵排列，以形成用于悬浮支撑玻璃基板的支撑面；每个气浮条分别沿第一方向延伸，且在第一方向上任意相邻的两列气浮条之间形成第一间隙，在第二方向上任意相邻的两排气浮条之间形成第二间隙，第一间隙和第二间隙分别可使第一型号取片机器人手臂和第二型号取片机器人手臂通过；其中，第一方向为玻璃基板的传输方向，第二方向垂直于第一方向且不同于纵向。本公开技术方案可以实现同一气浮条输送台同时兼容不同型号的取片机器人

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218595511 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222773853.1 (22)申请日 2022.10.20 (73)专利权人芜湖东旭光电科技