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本实用新型属于氩气提纯技术领域,公开了一种高纯氩气纯化装置,包括通过管道依次相连接的稳压阀、换热除氧机构、冷却器、冷干机、吸附器、过滤器、背压阀、流量检测计,在流量检测计的出口管路上分设有纯气出口分支管路、放空分支管路,且在流量检测计的出口管路上设有气体成分检测计;所述换热除氧机构包括换热器,换热器的第一进口与稳压阀相连通,换热器的第一出口与加热器相连通,加热器与除氧器进口相连通,除氧器出口折回再与换热器的第二进口相连通,换热器的第二出口与冷却器相连通;通过换热除氧机构和吸附器的相互配合作用将混
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213528016 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022186936.1 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 河南省科荣气体设备有限公司
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