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一种谐振器及其石英晶片,其中,石英晶片,包括:晶片主体、至少一层第一台阶和至少一层第二台阶;晶片主体的一侧设置有固定部,固定部上设置有多个第一刻蚀槽,晶片主体的另一侧设置有多个第二刻蚀槽;第一台阶设置于晶片主体的第一面的几何中心上,各第一台阶的体积相异设置,各第一台阶的几何中心相互对齐,各第一台阶的体积沿着靠近晶片主体至远离晶片主体的方向逐渐减小;第二台阶设置于晶片主体的第二面的几何中心上,各第二台阶的体积相异设置,各第二台阶的几何中心相互对齐,各第二台阶的体积沿着靠近晶片主体至远离晶片主体的方
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213521820 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022999626.1 (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 研创科技(惠州)有限公司
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