一种溅射台用转移手臂.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，包括支撑架，所述支撑架上端固定连接有底座，所述底座上端面一侧固定连接有第一挡板，所述底座上端面远离第一挡板的一端固定连接有第一放置箱，所述第一放置箱和第一挡板之间固定设置有两个第一滑轨，所述第一放置箱内部固定设置有第一电动机，所述第一电动机的输出端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆远离第一电动机的一端转动设置在第一挡板中部，所述第一螺纹杆外壁螺纹连接设置有第一滑动座。本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，该装置结构简单，使用方便，可实时监测圆片的位置，减轻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213532658 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202021695466.5 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人江苏晋誉达半导体股份有限公司