用于硅片的高速搬运机构.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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用于硅片的高速搬运机构.pdf

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本实用新型公开一种用于硅片的高速搬运机构，包括安装于机架上的底板、支座、传输电机和对称设置于支座两侧的传输皮带，所述支座安装于底板的上表面上，所述传输电机安装于支座上，所述支座上可滑动地安装有一活动块，此活动块的上表面与活动板远离第三转轮一端的下表面连接，使得该活动块与活动板同步运动，所述活动块的一个侧端面上安装有一可转动的支撑轮，此支撑轮与同侧的第一转轮、第二转轮、第三转轮通过传输皮带传动连接，所述支撑轮与传输皮带的一表面接触，所述第三转轮与传输皮带的另一表面接触。本实用新型实现了对硅片的逐片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213483727 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022241118.7 (22)申请日 2020.10.10 (73)专利权人昆山莱崎龙精密技术有限公司