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本实用新型公开了一种碳氢清洗干燥设备的洗净干燥装置,包括洗净干燥槽和清洗液回收装置,洗净干燥槽包括冷凝干燥槽和氟化液洗净槽,氟化液洗净槽布置在冷凝干燥槽的下方,顶部与冷凝干燥槽连接,氟化液洗净槽上端敞口,冷凝干燥槽中装有盘管冷凝器;清洗液回收装置包括蒸馏装置和冷凝回收装置,蒸馏装置的入口接氟化液洗净槽的氟化液污液排出口,冷凝回收装置的入口接蒸馏装置的蒸汽出口,冷凝回收装置的氟化液出口接氟化液洗净槽的氟化液入口。本实用新型将前部设备清洗过程中残留在工件上的碳氢清洗液溶于氟化液洗净槽的氟化液溶剂中,
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213468884 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021947067.3 (22)申请日 2020.09.07 (73)专利权人 科
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