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本实用新型提供一种适于承载裸晶片的晶片承载台。晶片承载台包括底座以及环状垫。底座具有基面。环状垫位于底座的基面上,底座的基面与环状垫的顶面之间具有间距。环状垫的顶面与底座的基面构成晶片承载面,且裸晶片适于置于晶片承载面上。一种晶片镶埋结构亦被提出。经由本实用新型的晶片承载台,对使用其所制作的晶片镶埋结构的裸晶片进行抛光,可以提升晶片整体的平坦度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401146 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022840123.X (22)申请日 2020.12.01 (30)优先权数据
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