具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置.pdf

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本实用新型的具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置属于微波能应用技术领域。所述的微波耦合等离子体发生装置由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体(1)、微波天线(2)、内导体(3)、中管(4)、内管(5)、样品管(6)和阻抗匹配筒(7)，所述的磁场发生部分由励磁下部(8)、励磁中部(9)、励磁上部(10)构成。相比于相有技术，本实用新型具有提高等离子体的电子密度、提高微波能的利用效率、提高等离子体的原子化能力等优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213426550 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202020996573.5 (22)申请日 2020.06.03 (73)专利权人吉林大学地址 1