一种单面自动光刻机的进出料板结构.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种单面自动光刻机的进出料板结构.pdf

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本实用新型公开了一种单面自动光刻机的进出料板结构，支撑座前侧安装有支撑座气缸，并且支撑座左侧加工有托轮电机，右侧加工有支撑座电机，且支撑座电机的左端连接支撑座气缸的右端，支撑座顶部安装有机械手搬运组件，机械手搬运组件的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座，气缸支撑座上端加工有托轮组件，托轮组件顶端安装有定位轮，定位轮左端连接气缸。本实用新型单面自动光刻机的进出料板结构，通过定位轮可以达到提高光刻机的定位精确度，并且托轮组件和机械手搬运组件可以达到减少光刻机的运料震动的效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213399195 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022424813.7 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人广东莱宝智能装备股份有限公司