一种可无线通讯植入式压力传感器的结构.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种可无线通讯植入式压力传感器的结构.pdf

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一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，L‑C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。电感作为天线来感知外部的无线信号，一个外部的读取器是用来测量L‑C振荡频率，从而测量压力，对一片玻璃晶圆进行了减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层。本实用新型的优点：芯片从晶圆上切割下来之后，可以在边缘预留的位置做钛引线。压力传感器可以在医学中得到应用，测得心脏、头部、脊髓和膀胱中的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213406003 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202020669185.6 G01L 9/12 (2006.01) (22)申请日 20