一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具.pdf

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本实用新型公开了一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，包括底板，在所述底板上部设有密封端固定块，中部设有波纹管固定板，下部设有出气口固定块，在所述密封端固定块底部设有滑轨螺丝a，所述滑轨螺丝a能在底板的上滑道中移动；所述波纹管固定板包括相连的上盖板和下盖板，所述上盖板和下盖板的内壁凹设有波纹管避让槽，所述波纹管避让槽上部与底部分别连接有气管避让槽，所述下盖板固定在底板上；所述出气口固定块底部设有滑轨螺丝b，所述滑轨螺丝b能在底板的下滑道中移动。在测漏过程中使用本申请固定治具，在保证不损坏不锈

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213397511 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022652710.6 (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人富乐德科技发展（大连）有限公司