一种晶圆生产加工专用预烘装置.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种晶圆生产加工专用预烘装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽；通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213401109 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022636263.5 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人苏州市永辰芯微电子有限公司