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本实用新型公开了一种离子束设备、离子源装置及其栅极结构,该栅极结构包括屏栅和加速栅,两者平行设置;还包括第一支撑环、第二支撑环以及支撑柱;所述第一支撑环和所述第二支撑环平行布置,所述屏栅和所述加速栅位于所述第一支撑环和所述第二支撑环之间;所述支撑柱为绝缘柱,所述支撑柱的两端分别与所述第一支撑环和所述第二支撑环抵接,所述屏栅和所述加速栅间隔套设于所述支撑柱;所述第一支撑环和所述第二支撑环通过若干紧固件固定连接。通过对栅极结构的优化,方便栅极结构的拆卸更换,降低了维护成本。
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218585922 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202223183902.2 (22)申请日 2022.11.29 (73)专利权人 江苏鲁汶仪器股份有限公司 地址
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