一种超高真空样品转移腔.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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本发明公开了一种超高真空样品转移腔，包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，所述传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀与转移腔连接；所述插板阀另一端与辅助腔法兰连接，所述真空计、进气阀与辅助腔法兰连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213337678 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021785006.1 (22)申请日 2020.08.25 (73)专利权人国成仪器（常州）有限公司