电子束蒸镀工艺制备外延单晶金刚石用Ir(111)复合衬底的方法.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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电子束蒸镀工艺制备外延单晶金刚石用Ir(111)复合衬底的方法.pdf

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电子束蒸镀工艺制备外延单晶金刚石用Ir(111)复合衬底的方法，本发明为了解决现有技术中难以在α‑Al2O3上获得(111)晶面Ir外延层的技术问题，制备方法：一、对α‑Al2O3(0001)进行超声清洗；二、将α‑Al2O3(0001)固定在样品托中，Ir颗粒靶材置于石墨坩埚里；三、腔体抽真空；四、样品升温至一定温度；五、打开电子枪高压及靶材挡板，在样品表面沉积Ir外延层；六、沉积结束后关闭靶材挡板和电子枪高压；七、退火处理。本发明采用电子束蒸镀法制备(111)面Ir外延层的方法，制备的Ir外

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111933514 A (43)申请公布日 2020.11.13 (21)申请号 202010806924.6 (22)申请日 2020.08.12 (71)申请人哈尔滨工业大学