静电驱动微执行器吸合电压的计算方法、系统及存储介质.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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本发明属于MEMS执行器技术领域，公开了一种静电驱动微执行器吸合电压的计算方法、系统及存储介质，基于静电场和弹性薄板理论对微机电系统MEMS中的静电型悬臂梁式执行器的吸合现象进行理论分析；借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行对比，验证计算模型的可行性；在悬臂梁面积不变的情况下，利用所述模型分析悬臂梁厚度和极板间隙对吸合电压的影响。本发明借助有限元软件COMSOL完成吸合电压的计算并与实际测试结果进行了对比，验证了该计算模型的可行性；利用该模型研究悬臂梁厚度和极板间隙对

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114444365 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210362565.9 G06F 119/14 (2020.01) (22)申请日 2022.04