成像装置和光刻机.pdfVIP

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2023-03-01 发布于北京
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本实用新型公开了一种成像装置和光刻机，成像装置包括：镜筒、光学组件和运动转换件，镜筒内形成有安装腔，镜筒形成有轴向延伸的限位槽，限位槽径向贯穿镜筒的壁，光学组件设置于安装腔内，光学组件外侧设置有移动件，移动件穿设限位槽，以实现光学组件轴向移动，运动转换件可转动地套设在镜筒的外侧且与移动件相配合，以在运动转换件相对镜筒转动时驱动移动件在限位槽内轴向移动。使用该运动转换件可以将光学组件的旋转和上下两个方向的运动分开，通过运动转换件的旋转推动移动件，从而可以带动光学组件实现上下移动，这样避免了传统的直

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213069471 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021586260.9 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公