生产电子级多晶硅的方法.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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生产电子级多晶硅的方法.pdf

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本发明公开了生产电子级多晶硅的方法。该方法包括：(1)在多晶硅还原炉内设置多圈硅棒，其中，内圈硅棒采用低电阻硅芯，中圈硅棒和/或外圈硅棒采用高电阻硅芯；(2)向所述内圈硅棒施加第一电压、以高压击穿的方式通电，并向所述多晶硅还原炉中通入三氯氢硅和氢气，进行第一阶段反应，在所述内圈硅棒上沉积得到第一多晶硅产品；(3)向所述中圈硅棒和/或外圈硅棒施加第二电压，持续向所述多晶硅还原炉中通入三氯氢硅和氢气，进行第二阶段反应，在所述中圈硅棒和/或外圈硅棒上沉积得到第二多晶硅产品。该方法可显著降低多晶硅产品中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113264528 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110405133.7 (22)申请日 2021.04.15 (71)申请人江苏鑫华半导体材料科技有限公司