一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构.pdfVIP

下载本文档

1
0
约6.82千字
约 8页
2023-03-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213020919 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022156075.2 F27B 5/14 (2006.01)