一种便于拆装的分离型上部电极结构.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种便于拆装的分离型上部电极结构.pdf

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本实用新型公开了一种便于拆装的分离型上部电极结构，包括连接环，所述连接环的一侧设置有拆装结构，所述拆装结构的内部设置有旋转块，所述旋转块的一侧与连接杆的一端固定连接，所述连接杆的另一端设置有连接头，所述连接杆的外侧套接有弹簧，所述弹簧的一侧设置有插板，所述插板的外侧设置有固定块，所述连接环的内部设置有气体供给盘，所述气体供给盘的表面开设有气体喷射孔；该一种便于拆装的分离型上部电极结构通过设置拆装结构，使得该拆装的分离型上部电极结构中的气体供给盘和连接环可以进行拆卸连接，从而方便后期的更换或者维修

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213042868 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202022373790.1 (22)申请日 2020.10.22 (73)专利权人苏州外延世电子材料有限公司