半导体晶圆气动旋转工作台.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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半导体晶圆气动旋转工作台.pdf

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本实用新型公开了一种半导体晶圆气动旋转工作台，包括圆形结构的装载晶片座，所述装载晶片座的外侧等间距设置有多个弧形结构的叶片。本实用新型首先将晶片在定位角凸起的配合下进行安放在晶片放置槽的内部，再利用第二输气支管吹出的气体来对装载晶片座外侧的叶片进行吹动，使得装载晶片座在下安装座的顶部进行转动，以此来完成晶片的喷涂工作，使得晶片喷涂均匀，当晶片喷涂完成后，利用气动的方式带动圆形防滑垫对第一轴承放置槽的顶部内壁进行固定住，进而使得装载晶片座被固定住，最后通过晶片取放槽进行取出晶片，便于工作人员进行使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026095 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022213751.5 (22)申请日 2020.10.08 (73)专利权人常州市好利莱光电科技有限公司