利用金刚石NV色心原位表征异质界面状态的方法.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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利用金刚石NV色心原位表征异质界面状态的方法.pdf

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利用金刚石NV色心原位表征异质界面状态的方法，本发明属于半导体材料及器件技术领域，它要解决现有在异质结两相相接界面处电荷状态分布、电子输运特性难以采用常规方法进行精确测量的问题。表征方法：一、对金刚石基底进行清洗；二、通过CVD法在金刚石基底表面生长NV色心层；三、使用显微镜聚焦到金刚石上生长的NV色心层，测得测试点处的第一次拉曼光谱；四、在生长NV色心层的金刚石表面生长待测的异质结；五、再次测得测试点处的拉曼光谱；将测试点处的第一次拉曼光谱与第二次拉曼光谱进行对比。本发明通过在界面连接处的金刚

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111584382 A (43)申请公布日 2020.08.25 (21)申请号 20201