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2023-02-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种能够便于晶圆检测，减少工序，保证晶圆切割工作稳定性的晶圆切割机。该晶圆切割机，包括底座；所述底座上设置有滑槽；所述滑槽内安装有滑台；所述滑台上方设置有可转动的真空吸盘；在滑槽的一侧依次设置有检测装置和切割装置，通过滑台实现对晶圆的输送，通过检测装置实现对晶圆的检测，通过切割装置实现对晶圆的切割。采用该晶圆切割机能够实现晶圆在切割前的检测；同时由于两个工位均通过滑台对晶圆进行定位和输送，从而无需在检测和切割晶圆的过程中移动晶圆，因此能够减少工作量，提高切割效率，避免过多移动晶圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213005962 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202020916066.6 (22)申请日 2020.05.26 (73)专利权人宜宾昌鑫科技有限公司