一种三坐标测量机接触式探头.pdfVIP

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2023-02-28 发布于北京
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本实用新型公开了一种三坐标测量机接触式探头，具体涉及三坐标测量机领域，包括探头外壳，所述探头外壳底部设有测量机构和测球，且测球位于测量机构底部，所述测量机构包括连接杆、连接片和传感器靶片，所述传感器靶片活动连接于连接杆与连接片之间，所述连接杆与测球之间固定连接，所述连接片远离传感器靶片的一端固定设有固定片，且固定片与探头外壳底部固定连接，所述传感器靶片顶部固定设有电容传感器。本实用新型通过设置测量机构，可使三坐标测量机的测量分辨率达3nm，量程达20μm，提高了三坐标测量机的精度，可用来测量非接

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213021419 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021544462.7 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人青岛信号栅精密仪器有限公司