一种半导体腔室的固定组件.pdfVIP

下载本文档

2
0
约5.29千字
约 7页
2023-02-24 发布于四川
举报
版权申诉

一种半导体腔室的固定组件.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型属于半导体腔室领域，具体涉及一种半导体腔室的固定组件，包括腔室、限位机构、夹持机构,所述腔室的上端固定连接有固定板，所述固定板的上端固定连接有挡板,所述挡板上设置有限位机构,所述限位机构包括卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，所述挡板上设置有夹持机构，所述夹持机构包括螺纹杆、旋钮、把手、轴承、夹块。本实用新型通过设计卡槽、拉杆、限位块、定位块、弹簧，通过弹簧的弹性作用使得拉杆末端卡接在卡槽内，从而对螺纹杆进行限位，防止螺纹杆自转造成固定不稳定，造成损失，通过设计螺纹杆、旋钮、把手、轴承、

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218509869 U (45)授权公告日 2023.02.21 (21)申请号 202222417762.4 (22)申请日 2022.09.13 (73)专利权人昆山富鑫铨精密机械有限公司地址