一种石英舟硅片及沉积用装置.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种石英舟硅片及沉积用装置.pdf

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本实用新型公开了一种石英舟及硅片沉积用装置，其中石英舟包括支撑件和底载物件，其中支撑件沿横向方向间隔设置有一对。底载物件的两端分别与相应的支撑件连接固定，所述底载物件上设置有若干沿横向方向间隔设置的卡齿、形成于相邻两卡齿之间的卡槽和向上突设于所述卡槽内的突伸结构，在横向方向上所述突伸结构中间高两边低。本实用新型在石英舟的卡槽内设置突伸结构使原本贴合在一起的两个电池片在突伸结构的作用下分隔开从而方便实现在背面形成多晶硅层的时候在正面也形成多晶硅层以对电池的正面进行保护。该实施例的石英舟在保证电池片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212848334 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202021863289.7 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人苏