一种紫外线发射器.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种紫外线发射器.pdf

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本实用新型涉及超高真空紫外线发射设备技术领域，具体为一种紫外线发射器。该发射器的带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，电极固定设于阳极法兰上，放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，阳极法兰上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组件；带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，阴极件固定安装于阴极法兰内，引导毛细管上开设有抽气口，抽气口连通所述差分抽组件；本实用新型提供的紫外线发射器，采用放电毛细管与氦气配合，通过电极进行放电，可有效产生紫外线，产生的紫外线光通过引导毛细管

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212848304 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202022276892.1 (22)申请日 2020.10.14 (73)专利权人大连齐维科技发展有限公司