一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.32千字
约 7页
2023-02-24 发布于北京
举报
版权申诉

一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座和固定装置，所述支撑座上方安装有放置台，且放置台上表面放置有外延片。该一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置安装有固定装置，固定块上端内表面设置有第一弹簧，且第一弹簧与半圆滑块之间构成弹性结构，所以当调整好延伸杆的角度使固定装置下压至外延片上表面时，第一弹簧可以有效的对固定装置施加的力度进行缓冲，防止外延片受损，而支撑柱末端连接的第二弹簧可以对按压时的力度进行二次缓冲，大大加强了固定装置的稳定性，且支撑柱通过限位槽与固

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212859177 U (45)授权公告日 2021.04.02 (21)申请号 202021379358.7 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人安徽德徽创芯科技有限公司