一种用于电子探针测试的多功能样品台.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种用于电子探针测试的多功能样品台.pdf

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本实用新型提供了一种用于电子探针测试的多功能样品台，包括台体，台体上设有一组标样靶圆形通孔和一个下沉平台，每个标样靶圆形通孔的孔壁设有侧向的从台体的侧壁穿出的顶丝孔，顶丝孔中设有顶丝，台体设有纵向的螺栓孔，螺栓孔中安装有螺栓。本实用新型提供的一种用于电子探针测试的多功能样品台结构简单、操作方便，能够能够同时放置不同尺寸样品，快速更换样品，减少换样时间，提高仪器效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212845122 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202021578808.5 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人武