一种真空测试模具.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种真空测试模具.pdf

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本实用新型提供了一种真空测试模具，该模具由模块A以及模块B共同组成，两组所述模块A对应密封设置于原料混合器的两侧部，所述模块B密封设置于所述原料混合器的下端部，所述模具对所述原料混合器进行密封，以控制其内部的真空度；通过设置由模块A和模块B共同组成的模具，对应与原料混合器本体的侧部和端部进行密封连接，并与真空泵以及氦气测漏机相串联，从而可有效控制原料混合器内部的真空度，真空压力可达到集成电路制造需求，且具备大范围检漏能力，解决了现有技术中存在的真空度难以控制和测量的技术问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212844138 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202022184076.8 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人湖州科秉电子科技有限公司