一种蚀刻设备的反应槽装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种蚀刻设备的反应槽装置.pdf

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本实用新型提供了一种蚀刻设备的反应槽装置，包括：进液管道、反应腔和排液管道；反应腔的顶部设有密封盖；反应腔内部设有温度传感器、液位传感器、浓度检测仪和加热装置；反应腔内部水平设有两个以上的滚轴；反应腔的侧边设有进液阀和排液阀；进液管道的一端通过进液阀与反应腔连接，另一端通过水泵与储液箱连接；排液管道的一端通过排液阀与反应腔连接，另一端与废液箱连接；温度传感器、液位传感器、浓度检测仪、加热装置、滚轴、进液阀、排液阀和水泵分别与控制台电连接。本实用新型能够实时获取温度信息和浓度信息，并自动加热或更换

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212800546 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021721517.7 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人茂科电子科技（深圳）有限公司