一种集成型多组分红外气体探测器.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种集成型多组分红外气体探测器.pdf

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本实用新型公开了一种集成型多组分红外气体探测器，包括自上而下设置的光学芯片与红外探测器芯片，光学芯片下表面包括至少三个聚焦光学单元，每个聚焦光学单元为一个超表面透镜；红外探测器芯片包括至少三个红外探测单元，其中一个作为参考单元，且红外探测单元与聚焦光学单元一一对应；红外探测器芯片的探测波长覆盖中波红外与长波红外。本实用新型目的在于通过在红外探测器芯片上方设置带有聚焦光学单元的光学芯片，以解决现有技术的红外气体探测系统在对多组分气体进行高灵敏探测时探测灵敏度不足、系统体积大与集成度低的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212808048 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021669757.7 (22)申请日 2020.08.12 (73)专利权人华