一种用于金刚石生成的阀动式真空系统接口结构.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种用于金刚石生成的阀动式真空系统接口结构.pdf

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本实用新型的目的是提供一种用于金刚石生成的阀动式真空系统接口结构，其特征在于：由阀体、阀针、排气管、接口法兰、出气调节阀、调节旋钮和出气法兰组成，阀体顶部的中心位置处设有阀针槽，接口法兰内侧边缘位置处设有密封垫；该部件用于金刚石生成的舱体进行真空切换过程中的进气、放气状态的切换，通过阀动起伏式的结构设计来判断用于金刚石生成的舱体内部的真空状态，整体结构更简单、操作更方便，体积更小巧，能够有效监测金刚石生产制备时的机体的运行状态，更加安全可靠，密闭性更突出，真空状态的观察性更强的阀动式真空系统接口

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212800531 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021576381.5 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人天津市宝利欣超硬材料有限公司