一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置.pdf

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本实用新型提供一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，涉及半导体制造技术领域，包括框体与晶圆，所述框体上方设有所述晶圆，所述晶圆底部设有支撑块，所述支撑块穿过所述框体一侧设有支撑板，所述支撑板一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧，所述压板通过所述弹簧相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板相连，所述压板一端设有两个圆块，所述框体一侧设有细槽；所述框体两侧壁设有螺纹轴，所述螺纹轴两端设有转动块，所述转动块底部设有固定块，所述转动块一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块，所述固定块

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212695131 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021645322.9 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人江苏斯米克电子科技有限公司