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一种石英晶片电极,包括:银镀膜和金属镀膜,金属镀膜与银镀膜依次层叠设置,银镀膜的一面与金属镀膜贴合,银镀膜远离铝膜的另一面用于贴合于石英晶片上;金属镀膜为铝镀膜、铂镀膜和钛镀膜中的一种,通过在银镀膜上设置一层致密的金属镀膜,能够隔绝空气中水、氧和氮等物质与银镀膜发生化学反应,避免在高温条件下,银镀膜表面出现结球的情况,维持了石英晶片电极的固有属性,满足了其高温低散差的条件,金属镀膜为铝镀膜、铂镀膜或钛镀膜,对银镀膜导电性能影响较小,相对于使用金镀膜作为电极,成本较低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212695967 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021854571.9 (22)申请日 2020.08.29 (73)专利权人 研创科技(惠州)有限公司
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