一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.09万字
约 11页
2023-02-20 发布于四川
举报
版权申诉

一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，涉及主轴密封的技术领域，其技术方案要点是包括主轴外套，其套设在主轴芯轴外侧，用于对主轴芯轴进行支撑；密封静环一，其固定在主轴外套靠近主轴芯轴端部的一侧，密封静环一上开设有密封静环一供气孔；以及密封动环，其固定在主轴芯轴上；密封动环与密封静环一相互靠近的一侧形成第一气幕间隙，第一气幕间隙与外界连通并且气幕间隙与密封静环一供气孔相互连通，通过高压气体在第一气幕间隙中形成向外吹拂的气幕，使得外界的污染杂质不容易通过气幕间隙进入轴承处。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212690825 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202022118498.5 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人青岛高测科技股份有限公司