一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机.pdf

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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆；本实用新型中，通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，可以使正电荷的离子均匀轰击阴

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212610879 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021229487.8 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人杰莱特（苏州）精密仪器有限公司