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本实用新型公开了一种气浮式高精密压接机,包括支架、支台及支板,其中,支台水平设置于支架上;支板包括二块,两支板竖直平行地设置在支台上方,支台上设有第一气孔,待压接的基板经第一气孔导出的气体气浮支撑;支板上还设置有压接头;压接头的承载座水平底面的四角位置安装有四个压力传感器,承载座与压接座之间经压力传感器连接,承载座带动压接座压接时,经四个压力传感器实时检测并传导压接压力。本实用新型具备基板移送及压接头移动消重功能,有效地提高了运动稳定性和精度,减少了部件磨损率,提高了寿命,且采用平面压力检测方式
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212629092 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202021226813.X
(22)申请日 2020.06.30
(73)专利权人 深圳市兴禾自动化股份有限公司
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