一种用于真空设备封口的真空检测装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种用于真空设备封口的真空检测装置.pdf

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本实用新型涉及一种不仅结构简单，而且使用灵活性好，同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台、氦气单元、氦质谱检测仪和真空泵，所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触。优点：一是真空检测装置不仅结构简单，而且检测准确性好，同时使用灵活性高；二是真空检测装置不仅适用性好，而且使用成本低，同时维养方便。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212621313 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020792506.1 (22)申请日 2020.05.13 (73)专利权人杭州大精真空技术有限公司