一种全自动晶圆探针台.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种全自动晶圆探针台.pdf

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本实用新型涉及探针检测设备领域，尤其涉及一种全自动晶圆探针台，包括布设有电气控制系统的机柜；机柜内部安装有电脑主机和测试主机；机柜顶部设置有人机交互装置、晶圆输送装置、CCD扫描装置、探针装置、打点装置、承片台、上料框、下料框和用于承放故障晶圆的待处理框，探针装置与测试主机电性连接；测试主机和人机交互装置分别与电脑主机电性连接；CCD扫描装置、晶圆输送装置和打点装置分别通过电气控制系统与电脑主机电性连接。本技术方案设置了设置了晶圆输送装置，实现晶圆的自动上下料，最大限度的减少人工辅助，使一个工作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212622723 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021220243.3 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人乐山嘉洋科技发展有限公司